国家能源局:拟纳入2022年度能源领域5G应用优秀案例集案例公示

time:2025-07-10 15:18:52author: adminsource: 鑫源电子科技有限公司

一、源纳入年度能源刘忠范北京大学博雅讲席教授,源纳入年度能源中国科学院院士,发展中国家科学院院士,中组部首批万人计划杰出人才,教育部首批长江学者特聘教授,首批国家杰出青年科学基金获得者。

最近,局拟集案光刻领域再次面临13.5nm波长(极紫外线)的光源功率限制。为此,领域例浙江大学匡翠方教授、领域例清华大学何向明教授和徐宏教授等展示了一种极其灵敏的光刻胶系统,可以达到印刷速度7.77ms-1,比传统的聚合物光刻胶快三到五个数量级。

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利用高速打印技术在约33分钟内制作面积为1cm2的大尺寸方形光栅,应用优秀优异打印速度将极大地促进TPL技术在微纳增材制造领域的实际大规模应用。二、案例【成果掠影】纳米级精确增材制造技术目前依赖于双光子光刻,案例尽管这种方法可以实现纳米级结构,但对于大规模的实际应用来说,它的运行速度仍然太慢。然而,源纳入年度能源TPL的制造吞吐量有限,到目前为止,TPL成为一种打印速度慢且运营成本昂贵的实验室工具。

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局拟集案具有优异打印速度的高灵敏度光刻胶材料的设计将极大地促进TPL技术在微纳增材制造领域的实际大规模应用。©2023SpringerNature.五、领域例【成果启示】作者报告了一种用于高速TPL制造的极灵敏ZrO2-BTMST光刻胶。

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计算表明,应用优秀这种不寻常的灵敏度源于ZrO2杂化物的有效光诱导极性变化。

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